完成单位

序号

单位名称

通讯地址

1

无锡星微科技有限公司

江苏省无锡市新吴区汉江路 15 号

完成人

序号

姓名

工作单位

对成果的贡献

1

姜燕燕

无锡星微科技有限公司

产品总设计

2

贺慧平

无锡星微科技有限公司

运动控制 系统研发设计，软件设计

3

沈恒宇

无锡星微科技有限公司

仿真工程师，模拟产品，设计优化

4

苏柳元

无锡星微科技有限公司

仿真工程师，产品设计分析

5

杨辅强

无锡星微科技有限公司

产品结构，整机设计

本项目成果已通过浙江省技术市场促进会组织的鉴定。

评价（鉴定）委员会名单

序号

姓名

单位

专业领域

职称

1

谭 滨

中国机械工程学会

自动化

教 授

2

陈 新

中国半导体行业协会

精密仪器

正高级工程师

3

乔楚雄

国际半导体产业协会

机电一体化

教 授

4

翁 普

中国电子专用设备工业协会

控制科学与工程

正高级工程师

5

陈学东

中国计量测试学会

半导体封装与制造

高级工程师

评价（鉴定、验收）意见

2026年3月4日，浙江省技术市场促进会组织召开了由无锡星微科技有限公司股份有限公司开发的“高精度气浮运动平台”项目科技成果鉴定会。鉴定委员会听取了项目技术和工作总结、科技查新报告，检验检测报告，产品技术质量标准,投产报告等，审阅了相关资料，经质询、讨论，形成鉴定意见如下:

1、提供鉴定的资料齐全、规范，符合鉴定要求。

2、项目研发的高精度气浮运动平台，采用结构一体化陶瓷气浮轴承设计，实现气浮轴承自身跳动小于10nm，显著提升平台热稳定性；自主研发长度 1000mm 左右的大型高精度陶瓷横梁，掌握从材料制备到加工的全流程工艺；搭载自研主动减振系统与平台控制器，通过模糊 PID 等智能算法，实现大重量、大行程运动台的振动抑制与精准控制，龙门双驱及单轴控制效果对标主流商用控制器。

3、项目成果涉及设备经南京海关纺织工业产品检测中心检测，所测指标高于相关标准要求，所测外观、定位精度、直线度、抗干扰等指标均达标。产品已应用于半导体晶圆检测、激光加工等领域，经用户使用反映良好，推动了高端装备国产化替代，具有显著的经济和社会效益。

4、该项目技术已获授权美国发明专利6 项，中国发明专利41项，相关技术处国际领先水平。

鉴定委员会认为，该项目的开发是成功的，同意通过鉴定。