科技成果评价(鉴定)
基于多级耦合纯化工艺的半导体用高纯度电子级含氟中间体
发布时间:2026/5/19 15:50:15
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根据浙江省技术市场促进会《科学技术成果评价(鉴定)实施细则》,对我会已组织鉴定的成果予以公示,公示期十天。

如有异议,请实名提出。电话88210761Email: zjjssc@163.com

                         科技成果公示表

成果名称

基于多级耦合纯化工艺的半导体用高纯度电子级含氟中间体


完成单位

序号

单位名称

通讯地址

1

衢州凯沃化工有限公司

浙江省衢州市柯城区华阳路181

完成人

序号

姓名

工作单位

对成果的贡献

1

吴芬

衢州凯沃化工有限公司

研发管控

2

甘童

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

3

王盛智

衢州凯沃化工有限公司

研发管控

4

方闻君

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

5

程梦琳

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

6

刘迪宇

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

7

胡华平

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

8

王绚

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

9

郑亚珍

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

10

邱辉强

衢州凯沃化工有限公司

研发管控

11

李兴娟

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

12

叶卸明

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

13

童土善

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

14

黄龙

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

15

余凌远

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

16

肖彤

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

17

刘江梅

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

18

李景欣

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

19

李泽辉

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

20

洪春明

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

21

吴鹏飞

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

22

童振平

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

23

陈婷婷

衢州凯沃化工有限公司

研发管控

24

陈水云

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

25

郑芳仙

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

26

叶祥诚

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

27

周海古

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

28

金珊珊

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

29

宋丽婷

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

30

郑贞贞

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

31

方楚芸

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

32

胡红星

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

33

吾雅娟

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

35

唐雪

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

35

严琦

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

36

张敏杰

衢州凯沃化工有限公司

技术支持

本项目成果已通过浙江省技术市场促进会组织的鉴定。

评价(鉴定)委员会名单

序号

姓名

单位

专业领域

职称

1

徐春建

中国化学会

化学反应工程

2

严大洲

中国半导体行业协会

芯片材料研发

正高级工程师

3

中国石油和化学工业联合会

化学合成与纯化

研究员

4

韩文峰

中国计量测试学会

精密检测

高级工程师

5

吴永明

中国电子学会

半导体材料

高级工程师

评价(鉴定、验收)意见

2026519日,浙江省技术市场促进会组织召开了由衢州凯沃化工有限公司开发的“基于多级耦合纯化工艺的半导体用高纯度电子级含氟中间体”项目科技成果鉴定会。鉴定委员会听取了项目技术和工作总结、科技查新报告、检验检测报告等,审阅了相关资料,经质询、讨论,形成鉴定意见如下:

1、提供鉴定的资料齐全、规范,符合鉴定要求。

2、项目向半导体先进制程关键材料自主可控战略需求,针对高端电子级含氟中间体长期依赖进口、传统纯化工艺纯度不足、杂质去除不彻底、能耗偏高、稳定性差等行业痛点,创新研发多级耦合纯化工艺,集成预处理除杂、精密精馏、亚埃级靶向吸附、膜分离终端精制等关键技术,构建了适用于半导体用高纯度电子级含氟中间体的全流程纯化体系,突破了传统单一工艺分离极限、痕量杂质难控制、规模化生产一致性不足等技术瓶颈。

3、成果产品经江西汇和进出口有限公司、陕西一简一至生物工程有限公司、安徽纬晟新能源科技有限公司等单位实际应用考核,各项性能指标均满足设计要求及国家、半导体行业相关标准,产品纯度达5.5N 以上,金属杂质≤0.1ppt,可适配 7nm 及以下先进制程。工艺连续运行稳定、纯化精度高、收率高、能耗低、绿色低碳,用户反馈良好,经济、社会与产业效益显著。

4、该项目核心技术拥有自主知识产权,相关技术已申请发明专利17项,关键技术与整体性能达到国内领先水平。

鉴定委员会认为,该项目的开发是成功的,同意通过鉴定。


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