根据浙江省技术市场促进会《科学技术成果评价(鉴定)实施细则》,对我会已组织鉴定的成果予以公示,公示期十天。
如有异议,请实名提出。电话88210761,Email: zjjssc@163.com
科技成果公示表
成果名称 | 基于多级耦合纯化工艺的半导体用高纯度电子级含氟中间体 | |||||||
完成单位 | ||||||||
序号 | 单位名称 | 通讯地址 | ||||||
1 | 衢州凯沃化工有限公司 | 浙江省衢州市柯城区华阳路18号1幢 | ||||||
完成人 | ||||||||
序号 | 姓名 | 工作单位 | 对成果的贡献 | |||||
1 | 吴芬 | 衢州凯沃化工有限公司 | 研发管控 | |||||
2 | 甘童 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
3 | 王盛智 | 衢州凯沃化工有限公司 | 研发管控 | |||||
4 | 方闻君 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
5 | 程梦琳 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
6 | 刘迪宇 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
7 | 胡华平 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
8 | 王绚 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
9 | 郑亚珍 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
10 | 邱辉强 | 衢州凯沃化工有限公司 | 研发管控 | |||||
11 | 李兴娟 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
12 | 叶卸明 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
13 | 童土善 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
14 | 黄龙 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
15 | 余凌远 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
16 | 肖彤 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
17 | 刘江梅 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
18 | 李景欣 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
19 | 李泽辉 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
20 | 洪春明 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
21 | 吴鹏飞 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
22 | 童振平 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
23 | 陈婷婷 | 衢州凯沃化工有限公司 | 研发管控 | |||||
24 | 陈水云 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
25 | 郑芳仙 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
26 | 叶祥诚 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
27 | 周海古 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
28 | 金珊珊 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
29 | 宋丽婷 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
30 | 郑贞贞 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
31 | 方楚芸 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
32 | 胡红星 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
33 | 吾雅娟 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
35 | 唐雪 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
35 | 严琦 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
36 | 张敏杰 | 衢州凯沃化工有限公司 | 技术支持 | |||||
本项目成果已通过浙江省技术市场促进会组织的鉴定。 | ||||||||
评价(鉴定)委员会名单 | ||||||||
序号 | 姓名 | 单位 | 专业领域 | 职称 | ||||
1 | 徐春建 | 中国化学会 | 化学反应工程 | 教 授 | ||||
2 | 严大洲 | 中国半导体行业协会 | 芯片材料研发 | 正高级工程师 | ||||
3 | 张 强 | 中国石油和化学工业联合会 | 化学合成与纯化 | 研究员 | ||||
4 | 韩文峰 | 中国计量测试学会 | 精密检测 | 高级工程师 | ||||
5 | 吴永明 | 中国电子学会 | 半导体材料 | 高级工程师 | ||||
评价(鉴定、验收)意见 | ||||||||
2026年5月19日,浙江省技术市场促进会组织召开了由衢州凯沃化工有限公司开发的“基于多级耦合纯化工艺的半导体用高纯度电子级含氟中间体”项目科技成果鉴定会。鉴定委员会听取了项目技术和工作总结、科技查新报告、检验检测报告等,审阅了相关资料,经质询、讨论,形成鉴定意见如下: 1、提供鉴定的资料齐全、规范,符合鉴定要求。 2、项目向半导体先进制程关键材料自主可控战略需求,针对高端电子级含氟中间体长期依赖进口、传统纯化工艺纯度不足、杂质去除不彻底、能耗偏高、稳定性差等行业痛点,创新研发多级耦合纯化工艺,集成预处理除杂、精密精馏、亚埃级靶向吸附、膜分离终端精制等关键技术,构建了适用于半导体用高纯度电子级含氟中间体的全流程纯化体系,突破了传统单一工艺分离极限、痕量杂质难控制、规模化生产一致性不足等技术瓶颈。 3、成果产品经江西汇和进出口有限公司、陕西一简一至生物工程有限公司、安徽纬晟新能源科技有限公司等单位实际应用考核,各项性能指标均满足设计要求及国家、半导体行业相关标准,产品纯度达5.5N 以上,金属杂质≤0.1ppt,可适配 7nm 及以下先进制程。工艺连续运行稳定、纯化精度高、收率高、能耗低、绿色低碳,用户反馈良好,经济、社会与产业效益显著。 4、该项目核心技术拥有自主知识产权,相关技术已申请发明专利17项,关键技术与整体性能达到国内领先水平。 鉴定委员会认为,该项目的开发是成功的,同意通过鉴定。 | ||||||||


