完成单位

序号

单位名称

通讯地址

1

杭州科百特过滤器材有限公司

浙江省杭州市萧山区金城路39号紫橙国际商务中心1号楼16层/浙江省杭州市萧山区河上新材料产业园科百特园区

完成人

序号

姓名

工作单位

对成果的贡献

1

陈梦泽

杭州科百特过滤器材有限公司

负责UPE滤膜的树脂选材选型及技术路线设计

2

张明辉

杭州科百特过滤器材有限公司

负责滤芯的整体结构设计及工艺设计

3

黄民初

杭州科百特过滤器材有限公司

负责UPE滤膜研发

4

贾建东

杭州科百特过滤器材有限公司

负责协助滤芯产品性能测试

5

赵翊舒

杭州科百特过滤器材有限公司

负责滤芯产品应用验证测试协调安排

6

李子彤

杭州科百特过滤器材有限公司

负责滤芯的应用研究，下游用户验证对接，并对反馈结果总结输出

7

余嘉琪

杭州科百特过滤器材有限公司

负责2nm滤芯的知识产权布局及申请

8

汤安杰

杭州科百特过滤器材有限公司

负责协助滤芯产品性能测试

9

罗进文

上海科百特过滤技术有限公司

项目负责人，负责项目整体计划实施，统筹小试、中试和产业化进度，协调各项资源推进项目

本项目成果已通过浙江省技术市场促进会组织的鉴定。

评价（鉴定）委员会名单

序号

姓名

单位

专业领域

职称

1

傅   新

浙江大学

半导体超洁净流控基础件

教授

2

罗国清

杭州电子科技大学

集成电路

教授

3

俞三传

浙江理工大学

膜材料

教授

4

吴礼光

浙江工商大学

膜材料

教授

5

龚国芳

浙江大学

机械电子

教授

评价（鉴定、验收）意见

2026年9月24日，浙江省技术市场促进会在杭州组织召开了由杭州科百特过滤器材有限公司完成的新产品“芯片制造光刻工艺尖端2 nm滤芯”鉴定会。鉴定委员会听取了项目产品研制工作和技术总结、产品检测、科技查新、用户使用等报告，察看了样品，经质询、讨论，形成鉴定意见如下：

1、提供鉴定的资料齐全、规范、符合鉴定要求。

2、采用高纯UPE、HDPE树脂超净后处理技术和超高洁净度2 nm UPE滤芯制备技术，形成了从原材料纯化、滤膜制备、滤芯结构优化到成品超净洗净的全过程技术体系，有效降低金属离子、颗粒等污染物析出，实现滤膜窄孔径分布、2 nm级颗粒高效拦截以及较低过滤压损，使产品兼具高过滤精度、低压损和超高洁净度，可满足先进芯片制造光刻工艺的高精度过滤需求。

3、项目产品经上海华测品创医学检测有限公司（编号：R2502712-01、R2502712-02、R2502712-03）、通标检测技术（上海）有限公司（编号：SHST2511001148CL01CN、SHST2512000008ST01 CN）等机构检测，所测指标达到立项要求；经用户使用，反映良好。

4、企业已通过ISO   9001:2015质量管理、ISO 14001:2015环境管理体系、ISO 45001:2015职业健康安全管理体系认证，其生产设备、工艺工装、检测手段和环保措施满足批量生产要求。

鉴定委员会认为，该产品处于国际先进水平，同意通过鉴定。