完成单位

序号

单位名称

通讯地址

1

杭州福斯达深冷装备股份有限公司

浙江省杭州市临平区杭州余杭经济技术开发区兴起路398号

完成人

序号

姓名

工作单位

对成果的贡献

1

阮家林

杭州福斯达深冷装备股份有限公司

主要研发内容攻关

2

葛浩俊

杭州福斯达深冷装备股份有限公司

项目决策、管理和监督

3

谢江波

杭州福斯达深冷装备股份有限公司

设备研发和设计

4

董佳

杭州福斯达深冷装备股份有限公司

工艺流程设计和研发

5

向云华

杭州福斯达深冷装备股份有限公司

工艺流程攻关

6

任复明

杭州福斯达深冷装备股份有限公司

流体管道设计及管理

7

洪艳红

杭州福斯达深冷装备股份有限公司

设备结构攻关

8

袁代新

杭州福斯达深冷装备股份有限公司

设备研发设计管理

9

陈光侠

杭州福斯达深冷装备股份有限公司

流程研发和设计

本项目成果已通过浙江省技术市场促进会组织的鉴定。

评价（鉴定）委员会名单

序号

姓名

单位

专业领域

职称

1

计时鸣

浙江工业大学

机械

机械

2

凌云

浙江工商大学

计算机

计算机

3

盛云庆

浙江省机电设计研究院有限公司

机电

机电

4

王亚卡

中建材智能自动化研究院

自动化

自动化

5

赵治栋

杭州电子科技大学

机电

机电

评价（鉴定、验收）意见

2022年9月3日，浙江省技术市场促进会组织召开了由杭州福斯达深冷装备股份有限公司开发的“基于全精馏技术的场效应晶体管专用高纯制氧成套设备”新产品鉴定会。鉴定委员会听取了工作技术总结、产品检测、科技查新和用户使用等报告，审阅了有关资料，经讨论，形成鉴定意见如下:

1、提供的资料基本齐全、规范，符合鉴定要求。

2、项目产品针对半导体生产中高纯氧气的需求，对成套装备的关键技术开展攻关，主要创新点如下：

1. 自主研发了高效专用的分子筛技术，提出了基于吸附能力强、选择性强的多孔径孔道和空穴结构的水气和二氧化碳高效吸附方法，微量水气和二氧化碳采用低温冻结法进一步脱除；
2. 自主研发了双级高效填料精馏技术，提出了折边倒角多孔性规整填料精馏方法，经气液两相逆流接触，通过相际传热传质，去除原料气中的烃类和氢气；
3. 自主研发了高效板翅式蒸发器和两级中抽物料精馏技术，以锯齿翅片长度控制流速和阻力，在较小温差下实现有效蒸发换热，通过中抽物料高效脱除氢气和烃类。

相关技术已获发明专利3件，实用新型专利7件，牵头制定了团体标准2项，在生产制备工艺上有创新，处国际同类产品先进水平。

3、产品经上海市计量测试技术研究院检测及专家论证意见，所测指标符合超纯氧标准要求，经用户使用，反映良好，具有较好的经济效益和社会效益。

4、企业已建立质量管理体系，生产设备、工艺工装、检测手段和环保措施能满足批量生产要求。

鉴定委员会认为，该产品的开发是成功的，同意通过鉴定。